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简介

KMWE专门制作特殊功能的零件,并且负责机械电子系统的组装、工程及测试。KMWE以模块化的方式来设置无尘室,若有需要时可以分别拆开移动到其他位置或将无尘室进行调整。

产品信息

所选用的产品适合使用洁净气体,并且可设置在无尘室中。Teesing Diaphragm 阀门针对不同应用可以调节栓紧强度 (10^-9 mbar*l/s) ,并针对应用选择客制化接头,且针对不同气体标记不同颜色便于识别。针对超洁净水使用的针阀则选用匹配的材质及适合的密封件。

工艺过程

此项目最初是在新的ISO 6无尘室中,针对气体供应所用的材质提供适合的建议。Teesing与KMWE讨论之后我们决定使用适合于无尘室使用的不锈钢管材搭配Serto接头。为保持超洁净气体的洁净状况并且在组装时达到泄漏测试所需要的紧密强度,我们使用了Diaphram阀门将管线封闭。这些都是针对该应用及所需连接接口提供的客制化的解决方案。

参数

产品组合: 不锈钢及PFTE管件、Diaphragm阀门、接头、配件
介质: N2、XCDA、He、R14、软化水
压力: 最大10 bar
温度: 环境
洁净度 ISO 6 无尘室

将Serto 安装面板和适合无尘室应用的管件及阀门相结合,让无尘室中只体现接头和阀门,把所有管线都安置在无尘室外面。

无尘室洁净气体解决方案

KMWE 模块化无尘室洁净气体

洁净气体的模块化无尘室解决方案

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TEESING 销售工程师
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